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武汉大学宋毅博士到球探手机比分网开展学术交流座谈
来源:win007com球探比分网 发布时间:2020-11-11 点击次数: 348

        近日,应北京协同创新研究(以下简称“球探手机比分网”)光电技术研究所邀请,武汉大学宋毅博士到访球探手机比分网进行学术交流,并作了题为“用于5纳米芯片制程的极紫外光刻机的EUV光源”的精彩学术报告。光电技术研究所所长吴晓君、副所长张威、贺凯及相关科研人员参加会议。

       宋博士梳理了极紫外光刻机的EUV光源发展历程。详细介绍了在芯片制造过程中,光刻工艺决定了芯片上器件的最小加工线宽,作为提高光刻机性能的关键技术,30年来光刻机的光源已从436/365纳米波长的汞灯演变成248/193纳米波长的准分子激光DUV,进而发展到目前13.5纳米波长的EUV光源。当芯片制造进入5纳米工艺节点,EUV光刻机是唯一可以满足量产要求的微加工设备,而其中最大的技术难题便是大功率、高稳定性的EUV光源。宋博士通过驱动EUV的激光光源、激发EUV的锡靶纳米结构、收集EUV的高反射率聚焦镜、以及EUV激发过程的控制与反馈等方面,对激光等离子体LPP-EUV光源技术进行了细致解读。同时又围绕EUV的其他关键技术进行了延展介绍和未来发展方向的展望。

       活动尾声,宋博士与现场嘉宾就EUV光源在研发中遇到的创新性问题展开热烈讨论,活动会现场学术氛围浓厚,互动交流频繁,取得了良好的效果。

      

       附个人简介:

       宋毅博士,武汉大学工业科学球探手机比分网副教授。2011年-2019年期间先后工作于比利时的imec微电子研究中心和荷兰的ASML光刻机公司;2019年加入武汉大学,从事光刻相关的研究,主要包括计算光刻、纳米尺寸光学测量、制程良率控制、3D激光直写;2020年任武汉大学微电子学院装备部部长。